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第443章1.5微米缝合怪光刻机苏醒(第1/2页)
镜头和光刻胶的问题解决，剩下的拼图在现场迅速合拢。
最底下，是一块长三米、宽两米、厚度达到八十公分的“泉城青”花岗岩底座。
泉城一机厂厂长崔玉山亲自押车送来。
他用红星厂的高精度机床，给这块沉睡了五亿年的石头做了微米级平面研磨。
平整度，硬生生压到三个微米以内。
崔玉山拍着石头，只说了一句话：
“给你们垫脚，够稳。”
外面哪怕有重卡驶过，传到台面上的震动，也被压到近乎没有。
底座上方，是海卫厂陈广威送来的工作台。
他们没用传统铸铁，而是用了实验室专门制备的高模量碳纤维管材做蜂窝骨架，再覆多层环氧树脂。
两个搬运工轻轻松松就把它抬进了车间。
旁边老师傅看得直咂舌。
“这玩意儿，比我家饭桌还轻。”
重量只有原来的五分之一。
可在直线电机驱动下，加速度直接翻倍，刚性还强。
停下来的时候，几乎没有惯性余震。
江俊带着团队，将那台CQ-1型双频氦氖激光干涉仪挂到碳纤维工作台侧面。
红光一闪。
一束细得几乎看不见的激光穿过导轨。
电子探测器上的数字死死咬住。
15纳米位移分辨率。
接着，东都单晶硅厂送来的9N级高纯度硅片，从充氮密封盒里取了出来。
十亿个硅原子里，只允许混进一个杂质。
长安771所刚调校完的离子注入机，也送进了车间。
慢是慢。
但刚好卡在1.5微米工艺门槛线上。
还有红星特制飞轮发电机组。
稳压精度万分之一，纹波几乎被压到零。
一件件设备，就像脏器一样，被填进这具钢铁躯壳。
赵四海带着津门二厂的八级钳工班子亲自上手。
接口不统一的地方，他拿手工铣出来的铜件硬转接。
几十个老工人不用电动工具。
他们只靠机械扭矩扳手，靠几十年练出来的手感，把每一个法兰、每一个连接件，都锁在最合适的应力范围内。
四个小时后。
所有管线接驳完毕。
花岗岩底座上，那台机器终于站住了。
它看着有些粗犷，甚至可以说奇丑无比。
没有后世ASML那种流线型洁白外壳。
外面裸露着大量加粗屏蔽线缆。
魏国栋魔改的射频“肿瘤”挂在一边。
外壳更是五花八门。
铝合金、碳钢、不锈钢，全都有。
甚至有一块面板，干脆是拿胶合板临时顶上的。
“这……”
傅卫国盯着它，嘬了嘬牙花子。
“好看是一点都不好看。”
赵四海擦了擦手，哼了一声。
“又不是选美，能干活就行。”
